【摘 要】
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本文详细研究了激光辐照对PLD技术制备的氧化锌薄膜室温下紫外光致发光性能和表面形貌的影响。研究结果显示：采用波长为248 nm的KrF准分子激光辐照可以大幅度提高室温下氧化锌
【机 构】
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北京工业大学激光工程研究院,北京 100124
【出 处】
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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本文详细研究了激光辐照对PLD技术制备的氧化锌薄膜室温下紫外光致发光性能和表面形貌的影响。研究结果显示：采用波长为248 nm的KrF准分子激光辐照可以大幅度提高室温下氧化锌薄膜的紫外光致发光谱强度,这主要是源于激光辐照导致了薄膜内氧空位浓度的急剧增加,而非薄膜结晶质量的改善；而辐照产生的热效应则使得薄膜晶粒熔融长大,表面粗糙度大大降低。
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