【摘 要】
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TFT LCD面板为以多层具有图案的薄膜所组成。面板厂在各段的薄膜制程中，包括array段、CF段以及cell段，无论是单层膜或多层膜，或是蚀刻后的图案，由於各层膜厚会影响到最终面板的影像品质，故皆需仰(赖)膜厚及图案型貌检测设备监控制程品质。其中TFT液晶层的厚度之均匀性对於画面色彩及画质呈献息息相关，若不均匀则会产生MURA及色彩均匀性等缺陷间题，目前制程中是以Photo Spacer控制液晶
【机 构】
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量測中心儀器與感測技術發展組;先進光學檢測技術發展部 量測中心儀器與感測技術發展組
【出 处】
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2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会
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TFT LCD面板为以多层具有图案的薄膜所组成。面板厂在各段的薄膜制程中，包括array段、CF段以及cell段，无论是单层膜或多层膜，或是蚀刻后的图案，由於各层膜厚会影响到最终面板的影像品质，故皆需仰(赖)膜厚及图案型貌检测设备监控制程品质。其中TFT液晶层的厚度之均匀性对於画面色彩及画质呈献息息相关，若不均匀则会产生MURA及色彩均匀性等缺陷间题，目前制程中是以Photo Spacer控制液晶层厚度，而Photo Spacer制程采用曝光显影及蚀刻的方式制作，由此在蚀刻前Photo Spacer厚度均匀性相当关键，因此需要膜厚量测设备进行厚度量测。此外为了达到(广)视角及其它功能，以MVA技街提升各视角的对比度，它需使用rib来辅助液晶在不同区域产生不同的角度呈列。MVA膜厚及图样将会影响到液晶的排列与灌注量，进而影响到面板视角的特性，故膜厚及图案形貌的量测需求也因此产生。
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