【摘 要】
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利用扫描和透射电子显微学方法,分别研究了镀金和抛光硅衬底上生成的不同形态纳米硅线.在汽-液-固三相转变生长机制(VLS)的热力学理论分析基础上,揭示了镀金硅衬底上的纳米线
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利用扫描和透射电子显微学方法,分别研究了镀金和抛光硅衬底上生成的不同形态纳米硅线.在汽-液-固三相转变生长机制(VLS)的热力学理论分析基础上,揭示了镀金硅衬底上的纳米线,与生长初期衬底表面上形成的Au-Si液滴有关,液滴中S i过饱合度与纳米硅线直径尺寸成反比关系,与成核密度成正比.抛光硅表面沉积的硅纳米线,可用非晶态SiO<,x>颗粒在高温下Si与SiO<,2>的相分离生长机理解释.
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