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本文阐述了碳化硅气体传感顺发展研究的现状和应用领域,并对其前景进行了展望.最后以MISiC肖特基二极管气敏传感器只能进行宏观报警为例,指出碳化硅气体传感器仍需要进一步的完善.
碳化硅气体传感器
【摘 要】
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本文阐述了碳化硅气体传感顺发展研究的现状和应用领域,并对其前景进行了展望.最后以MISiC肖特基二极管气敏传感器只能进行宏观报警为例,指出碳化硅气体传感器仍需要进一步的
【机 构】
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河北工业大学微电子所(天津)
【出 处】
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第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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2003年期
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