【摘 要】
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本文作者通过研制三相高频开关电路和三相对称倍压电路,解决了氧离子注入机引出电源输出高压大功率的问题.在动态负载工作条件下,其额定输出为55kV、150mA,工作频率为30KHZ.该电源的研制成功为高频高压直流电源在半导体设备及其它领域的应用打下了良好的基础.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
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本文作者通过研制三相高频开关电路和三相对称倍压电路,解决了氧离子注入机引出电源输出高压大功率的问题.在动态负载工作条件下,其额定输出为55kV、150mA,工作频率为30KHZ.该电源的研制成功为高频高压直流电源在半导体设备及其它领域的应用打下了良好的基础.
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