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本文介绍了电子束掩模制造中的设备和高灵敏度的抗蚀剂电子束刻蚀技术研究.
高灵敏度抗蚀剂电子束刻蚀技术研究
【摘 要】
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本文介绍了电子束掩模制造中的设备和高灵敏度的抗蚀剂电子束刻蚀技术研究.
【机 构】
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中国华晶电子集团公司掩模工厂(无锡)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年期
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