强流离子注入机防晶片电荷积累设计

来源 :第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ztgu8p
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本文分析了离子注入机中晶片电荷积累的原因及影响,讨论了几种中和方法,并利用电子中和技术原理,设计了电子淋浴器,实际应用于强流离子注入机.改善了晶片上的电荷积累.
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