【摘 要】
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柔性电子产品的出现,解决了传统硬质电子产品容易破碎且不方便携带等缺点.作为柔性电子产品的基础,柔性存储技术的研究是目前存储器领域的重要研究方向之一.CuSCN薄膜是一
【机 构】
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复旦大学材料科学系,上海,200433
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
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柔性电子产品的出现,解决了传统硬质电子产品容易破碎且不方便携带等缺点.作为柔性电子产品的基础,柔性存储技术的研究是目前存储器领域的重要研究方向之一.CuSCN薄膜是一种可用于电存储器件的可擦写的阻变存储器材料.本文通过在柔性PET基底上使用真空热蒸发镀膜技术,沉积一层厚度约为200nm的Cu膜,再浸泡在一定浓度的KSCN溶液中,通过固-液界面反应,在Cu膜上原位生成一层CuSCN薄膜.最后,再蒸镀沉积一层Al膜作为电极,制备和研究了可弯曲的Al/CuSCN/Cu电存储器件.拉曼光谱和X-射线衍射测试证明生成了CuSCN薄膜.扫面电子显微镜(SEM)观察显示生成的CuSCN颗粒薄膜平整度和均匀性很好.将Al/CuSCN/Cu器件反复弯曲约5000次后,再弯曲180°并固定,对其进行电存储性能测试,实验证明在弯曲操作下,对器件施加循环扫描电压,器件仍然能实现高阻态和低阻态之间的多次转换,具备良好的存储特性,高低阻态的电阻比率达到104以上.本研究说明柔性基底上的Al/CuSCN/Cu器件具备作为柔性存储器的潜力.
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