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用脉冲激光沉积(PLD)方法制备出类金刚石薄膜。处用Raman谱研究了制备过程吉衬底温度和光功率密度变化对薄膜性质的影响。结果表明，在实验所用的衬底温度范围之内（室温－700℃）和激光功率密度变化范围之内，对Raman解谱分析所得到的D-峰与G-峰的积分强度之比(I<,D>/I<,G>)随衬底温度升高而增加，随激光功率密度的增加而减小。该文对此进行了讨论。