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由于高单色性场发射枪和校正器在透射电子显微镜上的应用，使电子束在高亮度、高相干成像中可达到0.5 埃的原子分辨率.更有意义的是当电子束小于1 埃时，仍具有足够的强度成像和收集能谱，可实现在逐点扫描的非相干模式下，通过暗场高角接收器得到原子分辨率的透射像.
透射电子显微术的进展及在薄膜材料研究中的应用
【摘 要】
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由于高单色性场发射枪和校正器在透射电子显微镜上的应用，使电子束在高亮度、高相干成像中可达到0.5 埃的原子分辨率.更有意义的是当电子束小于1 埃时，仍具有足够的强度成像和收集能谱，可实现在逐点扫描的非相干模式下，通过暗场高角接收器得到原子分辨率的透射像.
【机 构】
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
【出 处】
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第十三届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2012年5期
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