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在薄膜硅/晶体硅异质结电池(HIT电池)的织构中，采用Na3PO4溶液作为刻蚀剂，其优点在于可以在晶硅表面形成密而小的金字塔，有利于后续薄膜的覆盖，从而提高电池的转换效率。本文主要研究Na3PO4织构工艺中织构温度(T)、织构时间(te)和溶液浓度对硅片的表面平均反射率(Rav)和少子寿命(τ)的影响。结果表明，Na3PO4织构可以不经去硅表面损伤层而直接织构，通过优化织构参数，获得Rav=9.7％的低反射表面。比较了NaOH绒面电池和Na3PO4绒面电池的性能，后者的短路电流密度和开路电压比前者的有明显增加，反映了Na3PO4织构硅表面具有低反射率和易于后续薄膜覆盖的优点。