【摘 要】
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利用低压金属有机物气象沉积的方法,我们在单晶MgO衬底上制备了结晶质量较好的立方结构Mg0.52Zn0.48O薄膜,并且在Mg0.52Zn0.48O薄膜上制备了MSM结构的日盲紫外光探测器.
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态重点实验室;深圳大学材料学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态重点实验室
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利用低压金属有机物气象沉积的方法,我们在单晶MgO衬底上制备了结晶质量较好的立方结构Mg0.52Zn0.48O薄膜,并且在Mg0.52Zn0.48O薄膜上制备了MSM结构的日盲紫外光探测器.在15V偏压下,器件的峰值光响应度在238nm,光响应截止边在253nm,峰值光响应度达到129mA/W,对应器件的量子效率超过100％,说明器件内部存在增益.内增益来源于金属电极与MgZnO薄膜间延长光生载流子寿命的大量空穴陷阱.我们认为这些空穴陷阱来源于生长过程中产生的本征缺陷,并且由于这些本征缺陷的存在,Mg0.52Zn0.48O紫外探测器具有较大的暗电流和可见光响应度.
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