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用电子束蒸发的方式在Na掺杂ZnMgO薄膜上蒸镀一层Ni/Pt多层膜形成欧姆接触,另蒸镀一层Ni/Pt薄膜形成的欧姆接触,分别对这两组样品在400、500、600、650、700℃,N2气氛中退火60s进行比较.Ni/Pt多层膜形成欧姆接触的比接触电阻率比Ni/Pt薄膜的要低.Ni/Pt多层膜的结构如图1,Ni/Pt薄膜的结构如图2.在不同温度下退火的比接触电阻率比较如图3.Samplel是Ni/Pt多层膜,Sample2是Ni/Pt薄膜.