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本文介绍了以双极脉冲磁控溅射的方式制备锐钛矿型TiO2薄膜的方法,同时对改良光催化型TiO2薄膜的方法做了综述性总结.
光催化TiO2薄膜磁控溅射技术探究
【摘 要】
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本文介绍了以双极脉冲磁控溅射的方式制备锐钛矿型TiO2薄膜的方法,同时对改良光催化型TiO2薄膜的方法做了综述性总结.
【机 构】
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天津南玻工程玻璃有限公司,天津,301700
【出 处】
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2006中国玻璃行业年会暨技术研讨会
【发表日期】
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2006年期
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