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为减小光开关的静电驱动电压，分析了影响开关驱动电压的各个因素，优化设计了光开关的静电驱动结构。在光开关中采用垂直微镜减小了开关所需的位移，改进扭臂与电极结构以增大扭臂长度以及电极的宽度，可进一步减小驱动电压。计算得出扭臂的厚度是影响光开关驱动电压的关键因素。在光开关制作中采用自停止技术可获得性能优良的扭臂和静电电极，并有效减小扭臂厚度。最后，讨论了光开关制作中氢氟酸蒸汽对自停止层的侧向根切问题。