热障涂层技术是发展高性能航空发动机的关键技术,目前已广泛用于航空发动机的燃烧室和发动机叶片上,使用热障涂层能够降低基底高温合金的表面温度,减小发动机中冷却气体用量,提高燃气温度,从而提高航空发动机的推重比。热障涂层的发展目标是制备具有更高使用温度,更大的隔热效果,更长的使用寿命的涂层。目前的研究主要在于新的制备工艺和新材料的开发,然而工艺参数对涂层的微观结构影响和微观结构与其热震性之间关系的研究还比较缺乏。热障涂层的结构对热障涂层的性能有着重要影响,通过改变热障涂层结构来提高热障涂层性能是一条非常有效的途径。因此本论文研究不同的制备工艺参数下,热障涂层的微观结构特性,及对其热震性能的影响。本文利用电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜设备在镍基高温合金基片上采用多组不同的工艺参数分别制备了氧化锆涂层。根据材料的特性,通过调整镀膜过程中的电子枪的束流以及基片的温度,制备了具有不同表面特征的涂层。通过扫描电子显微镜(SEM)、能谱分析(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对涂层进行了表征测试。研究了电子枪的束流、基片的温度等工艺参数对涂层微观形貌,成分,化学组成的影响。通过循环氧化实验对试样的热震性能进行了测试,在1100℃下,保温50分钟后,取出在空气中冷却至室温10分钟,以此为一个循环。在循环相同的次数,300MA试样最先剥落,350MA试样最后剥落。以此得出350MA试样的热震性最好。对热障涂层的失效机理进行的研究探讨。分析得出：300MA涂层原子排列致密,热震实验后涂层表面出现微裂纹；400MA涂层原子排列松散,热震实验后涂层表面出现微小孔洞；这都加速了氧气的传输,导致涂层的过早破坏。分析破坏涂层的截面形貌得出：涂层剥落于TGO的生长引起的热应力累计。