合理开发海洋资源能有效改善日益严峻的能源问题,然而,海洋环境腐蚀性强,金属装备在该环境下容易失效。利用物理气相沉积技术在金属基材表面制备一氮化物防护涂层,是提升金属基材综合性能、延长工件服役寿命的有效手段。多元纳米复合涂层聚集众多优点于一体,是硬质涂层的研究热点和发展方向。本文采用非平衡磁控溅射技术制备了TiAlVN多元纳米复合涂层,并系统研究了多靶共溅射下V含量对涂层的微观组织、晶体结构、化学成分、显微硬度、杨氏模量、结合强度以及耐3.5%Na Cl溶液腐蚀性能的影响规律。此外,还研究了不同TiAlV合金靶功率下涂层的微观结构和性能。采用多靶共溅射方式同时控制V靶功率制备出不同V含量的TiAlVN涂层,研究表明,TiAlVN涂层为岛状形貌,呈NaCl型FCC结构,涂层内V含量随V靶功率增大而增加。随V含量增加,（111）晶面择优取向,衍射峰先向右偏移后左移,涂层表面孔洞减少、结构更加致密,涂层表面粗糙度先减后增。TiAlVN涂层的硬度、杨氏模量以及结合力随V含量增加均表现为先增后减的趋势,当V含量为20.2 at.%时,涂层力学性能最佳,其值分别为22 GPa、308.8 GPa和35N。与未掺V涂层相比,掺V涂层具有更为优异的耐腐蚀性能。随着V含量增加,TiAlVN涂层的腐蚀电位、低频阻抗和电荷转移电阻均表现出先增后减的趋势,腐蚀电流密度则呈现先减后增的趋势。在V含量为20.2 at.%时,获得最大的腐蚀电位（–0.261 V）、低频阻抗（56700Ω·cm2）和电荷转移电阻（1.71×105Ω·cm2）,以及最小的腐蚀电流密度（0.487μA/cm2）,此时TiAlVN涂层具有最佳的耐腐蚀性能。通过控制TiAlV合金靶功率制备了四种TiAlVN涂层。研究表明,TiAlVN涂层为面心立方和六方共存结构,随着靶功率的增大,涂层中Al含量略微增加,Ti、V含量出现少许减少,Ti2N（111）衍射峰强度逐渐减弱,并向小角度偏移,涂层组织致密,厚度增大,涂层表面粗糙度呈现先增加后略减再增加的趋势。涂层硬度随靶功率增大先增后减,而杨氏模量逐渐增大,结合力则逐渐减小,靶功率为450 W时TiAlVN涂层具有最优的综合力学性能,其值分别为41.9 GPa、372.8 GPa和15.5 N。随着靶功率增加,TiAlVN涂层的腐蚀电位、低频阻抗和电荷转移电阻均表现为先增后减的趋势,而腐蚀电流密度和腐蚀速率则呈现先减后增的趋势。在靶功率为450 W时,获得最大的腐蚀电位（–0.2018 V）、低频阻抗（215000Ω·cm2）和电荷转移电阻（3.047×106Ω·cm2）,以及最小的腐蚀电流密度（0.1454μA/cm2）和腐蚀速率（3.32239μm/year）,此时TiAlVN涂层具有最强的耐腐蚀性能。