纳米薄膜的力学性质研究

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立方体不同晶向纳米薄膜力学性质的理论研究对纳米电子、机械器件,例如微传感器件等具有一定的参考意义。本文研究了考虑表面效应后的不同晶向立方体纳米薄膜的弯曲性质。首先,根据之前的理论推导了立方晶体体材料的不同晶向纳米薄膜的弹性能密度、杨氏模量以及泊松比。然后,在考虑表面效应对薄膜的影响,引入表面弹性,又推导了考虑表面效应后的立方晶体不同晶向纳米薄膜的弹性能密度、杨氏模量和泊松比。接着从基于能量极小原理的四参量变分理论,给出了立方晶体不同晶向纳米薄膜的弯曲曲率。其次,我们利用论文中给出的杨氏模量公式讨论了几种立方晶体金属(铝、镍、铜)的不同晶向纳米薄膜的杨氏模量随厚度的变化,讨论了表面效应对不同晶向纳米薄膜杨氏模量的影响和硬度情况。最后,我们定性地讨论了金属铝、镍、铜不同晶向纳米薄膜的曲率半精随厚度的变化情况,分析了厚度对薄膜弯曲性质的影响,比较了不同晶向纳米薄膜的对应力响应情况。得到了(110)晶向薄膜相对于另外两种晶向纳米薄膜更软,在相同的厚度及表面应力差影响下更容易弯曲。这对吸附引起的表面应力不平衡导致弯曲的悬臂梁技术有一定的参考意义。
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