【摘 要】
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随着现代科学技术的发展,汽车、工业自动化、导弹等领域对加速度传感器提出了集成化、微型化、高性能等要求,开发各种新原理、新结构、新功能的微型加速度传感器已成为世界各
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随着现代科学技术的发展,汽车、工业自动化、导弹等领域对加速度传感器提出了集成化、微型化、高性能等要求,开发各种新原理、新结构、新功能的微型加速度传感器已成为世界各国的研究热点。真空微电子加速度传感器是一种新型加速度传感器,具有灵敏度高、体积小、抗辐射、低电压等优点,在航空航天、导弹和汽车等领域都有巨大的应用前景。信号处理电路是决定该类传感器性能的一个关键因素,本文的目标就是设计力平衡式真空微电子加速度传感器的信号处理电路。本文提出的力平衡式真空微电子加速度传感器的信号处理电路由电流检测闭环控制电路和以89C51单片机为核心的数据采集和显示电路两个部分组成,其中电流检测闭环控制电路包括I/V转换电路、二级放大电路、滤波电路和反馈电路,数据采集和显示电路包括电平转移电路、模数转换电路、单片机数据处理电路和LED数码管显示电路。本文的主要工作如下:1、对力平衡式真空微电子加速度传感器的结构、工作原理和理论进行分析。2、设计了真空微电子加速度传感器的信号处理电路,对电路的各个模块进行了分析和研究,采用PSpice10.0对主要电路模块进行了模拟仿真。3、编制了相应的程序,实现对加速度信号的显示。4、对该信号处理电路中可能出现的干扰进行了探讨,并针对出现的一些干扰信号制定了相应的抑制措施。5、对真空微电子加速度传感器样品进行测试分析,实验结果表明该信号处理电路达到了预期目标。
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