在超高温环境下,温度压力测量对于航天航空飞行器和发动机的参数健康监测有着重要意义,HTCC基LC温压集成传感器面向高温高压环境设计而成,本课题组前期设计的双LC温压集成传感器可以工作在1100℃,压力范围为70~120kPa。但温度与压力信号存在非线性问题,所以只能用查表法解算温度和压力;在高温下读取线圈被氧化,实验不可重复测量。传感器的后端测量系统依赖网络分析仪,阻碍传感器的工程应用。为了改善以上双LC温压集成传感器问题,本文设计了一种单LC温压集成传感器,利用丝网印刷的铂膜的热敏特性和电容器空腔受压形变的原理测量温度和压力,压力温度测到1200℃,压力测到250kPa。电感器和电容器在HTCC基底的两端,测试时电感器放置在常温区,电容器放置在高温区。这样既保护了读取线圈又减小了高温引起的读取线圈电阻和电感器寄生电容的变化对传感器信号的干扰。实验结果显示:传感器信号的线性度明显提高了。在一定范围内,幅值与温度呈现线性关系,幅值与压力也呈现线性关系,谐振频率与压力呈现线性关系,谐振频率也与温度呈现线性关系。温度压力的解耦算法为:通过平面拟合得出幅值和谐振频率关于温度和压力的二元一次方程,然后经过数学变换,解算出温度和压力关于谐振频率和幅值的二元一次方程。把Z轴作为压力,拟合出压力关于温度和谐振频率的方程,这就需要设计一个温度传感器解算压力信号,设计了一种电阻栅式的LC温度传感器,谐振频率和幅值与温度均呈现线性关系。为了使传感器测量系统体积减小,替代昂贵而笨重的矢量网络分析仪,设计了LC传感器的测量系统,简化为单端口网络,选用扫频源AD9910和主控芯片STM32F103和检幅检相器AD8302集成为一个电路板,设计LabVIEW上位机通过USB口发送扫频命令和实时显示接收到的数据图像,程序具有保存数据功能。测量系统使用OSL校准算法并在上位机中编写完成,目前校准只针对单一传感器。测量系统测试LC温度传感器比对矢量网络分析仪测量的数据,结果显示:谐振频率最大相对误差为0.61%,各温度点测量的S11幅值平均绝对误差为2.85dB,测量系统存在有一个系统误差。