随着激光工业的迅猛发展,激光加工己经广泛应用于各行业,高精度激光加工设备与测量设备发展迅速并被广泛应用。激光并行制造具有高效率等诸多优点,但在激光并行制造的过程中,激光束的动态干扰会影响激光参数精度和稳定度,进而直接影响激光并行制造系统的性能。论文基于科技部重点研发计划--激光并行制造工艺及设备,主要研究该项目中的激光参数监测与矫正系统部分,其中,激光参数包含了光束的指向性、功率、光束质量等。为此,本文研究如何设计与搭建激光参数监测与矫正系统。此外,本文研究了如何提高该系统的矫正精度,并且为了更好的实现研究目标,还对造成激光束参数不稳定的一些因素以及具体影响范围开展相关研究。内容主要包括以下几个部分:1.概述了激光参数不稳定性与矫正技术的研究背景及意义,对国内外激光参数不稳定性与矫正技术进行了调研与总结。2.介绍了研究激光参数不稳定性与矫正方法的理论模型,阐述了激光光束指向不稳定性、功率不稳定性、光束质量不稳定性的理论模型;描述了常用于激光光束指向性矫正的几种测量仪器的构成、测量原理。3.首先,利用CCD相机、功率计以及光束质量分析仪等对锁模激光器的光束指向不稳定性以及功率不稳定性展开了相关实验研究,并得到了具体的不稳定值;其次,利用上述仪器对再生激光器的光束指向不稳定性、功率不稳定性、光束质量不稳定性进行了实验研究并得到了具体的不稳定值;最后,利用ORIGIN以及Matlab将相关数据拟合、模拟,三维的展现皮秒激光在不同泵浦功率、环境温度下的功率以及指向不稳定性。4.本章先对激光参数监测与矫正系统中光束指向矫正部分所用探测器进行了选型;接着,具体叙述了系统光路图以及装置等设计;最后,使用短腔、再生放大激光器对该系统的指向性监测与矫正功能进行了验证,测得了短腔的矫正精度(角度偏移、位置偏移)为:0.0027mrad、0.0016mm;再生放大激光器的矫正精度(角度偏移、位置偏移)为:0.0091mrad、0.019mm。