磁场辅助微细电解加工关键技术研究

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随着微纳米技术的发展,微小零件的应用越来越广泛。微细电解加工技术以其特殊的加工机理可以实现难加工金属材料微小零件的加工,但加工定域性差、加工精度低等问题制约了微细电解加工技术的发展。针对微细电解加工精度难以提高的问题,研究了磁场辅助微细电解加工技术,主要从磁场的影响作用、磁场发生装置的研制、工艺实验三个方面进行了研究。根据Fick定律分析了带电离子在扩散模式下的运动情况并建立了数学模型,研究了磁场对带电离子对流流量和对流速度的影响,利用经典力学理论推导出了带电离子在电迁移模式下的运动方程和轨迹方程并研究了叠加磁场后的变化情况。根据微细电解加工机床结构尺寸和课题需要,通过铁芯设计、励磁线圈设计和电源部分选择成功的设计并制作了一套磁感应强度在0~0.4T范围内可控可调的电磁发生装置,利用研制的电磁发生装置和现有的微细电解加工机床构建了磁场辅助微细电解加工系统。针对高弹性合金材料3J21和304不锈钢等材料的微结构进行了大量的磁场方向(垂直和平行)、磁感应强度(0~0.2T)和磁场空间布置(单边和双边对称)等磁场参数对微细电解加工精度的影响实验研究;为了后续验证实验的顺利进行,进行了磁场作用下加工电压、脉冲宽度等工艺参数对微细电解加工精度的影响实验研究。利用工艺参数实验的研究结果,在无磁场和叠加磁场两种情况下进行了长度为200μm、宽度为100μm的微槽电解铣削加工综合对比实验研究,在分析微槽结构的基础上制定了微槽粗加工和精加工相结合的微细电解加工工艺方案,采用直径为30μm的圆柱电极进行微细电解粗加工并为精加工留有适当余量,再采用直径为10μm的多阶梯状圆柱电极进行微细电解精加工,研究表明:叠加外加磁场提高了微槽的微细电解铣削加工精度。理论分析和实验研究表明,研制的可控可调电磁发生装置能够满足磁场辅助微细电解加工的实际需要;叠加垂直方向、磁感应强度为0.1T左右的磁场可以提高微细电解加工的精度。为航空航天、兵工、精密仪器等领域中难加工金属材料微小零件的加工难题提供了一种新的解决思路,同时对微细电解加工技术的发展具有促进作用。
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