利用声波对光波的调制、开关以及对光束传播方向的控制作用而实现的集成声光器件可以广泛应用到光通信、光信息处理、光传感及显示等领域。同时,声光器件所固有的高速度、宽频带和可多波长同时工作的特点也有助于光纤激光器以及光通讯领域的发展。本文对高速波导声光调制器中光波导的理论和实验分别进行了研究。论文的主要内容包括以下几个方面:1.回顾了高速波导声光调制器的研究背景和发展现状,介绍了波导器件中光波导的研究现状。2.基于波导声光调制器的基本理论,对器件与光纤的耦合效率、光波导的传输损耗和调制器的衍射效率等性能进行了研究。分别介绍了钛扩散光波导和质子交换光波导,并比较了两种光波导的性能。分析了128°Y切LiNbO3晶体波导在性能上的特点。3.建立了一套波导声光调制器中钛扩散光波导制作参数的设计方法,对调制器性能,包括光波导的耦合损耗、模式选择以及声光波导调制器的衍射效率进行了研究。并分析了光波导的扩散深度、扩散宽深比、钛条宽度对调制器性能的影响。提出了设计光波导扩散深度、扩散前Ti条宽度的方法。4.利用OptiBPM软件对新型高速波导声光调制器进行分析,分析了由于光波导结构引入的器件传输损耗。对在理论研究的基础上试制的波导声光调制器进行了测试,得到器件的插入损耗为6dB,偏振相关损耗为1.9dB,隔离度为14.4dB,衍射效率约为18%。通过分析波导的插入损耗完善了光波导的制作参数,对调制器提出改进意见。