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β-FeSi_2具有高的光电转化效率,是一种很有潜力的薄膜太阳电池材料。ZnO具有高的透过率,是一种优良的电池窗口材料。因此,制备高质量的β-FeSi_2和ZnO薄膜对实现它们在太阳电池中的应用具有重要意义。本文分别采用固相外延法和Fe/Si多层膜法合成β-FeSi_2薄膜,采用常规电化学沉积和超声电化学沉积制备ZnO薄膜,并运用X射线衍射仪,原子力显微镜,扫描电镜,霍尔效应测试仪,光吸收谱仪,紫外可见分光光度计对薄膜样品的性能进行表征。研究了制备工艺、退火条件以及Fe/Si