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本文采用电弧离子镀技术在M2高速钢和316L不锈钢基体上制备CrN_x薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、显微硬度计和摩擦磨损试验机等方法对制备的试样进行分析,研究考察真空室气压及氩气/氮气比例对CrN_x薄膜组织结构、化学成分、显微硬度及耐磨性能的影响。结果表明,在M2高速钢上沉积CrN_x薄膜,氮气气压的大小对薄膜的表面形貌有重大影响:随着氮气气压的升高,薄膜表面的大颗粒数量减少,尺寸减小,薄膜表面更加平整;随着氮气气压的升高,薄膜的相结构由Cr+Cr_2N混合相转变为Cr_2N