碳纳米管(Carbon nanotube,CNT)以其独特的力学、热学、光学和电学等性能而被广泛应用于微纳电子器件中。然而,CNT与金属间过高的接触电阻导致微纳电子器件发热,并降低器件的使用性能和寿命。因此,对CNT掺杂过渡金属元素以改善其与金属电极间的电接触性能具有重要的研究意义。采用无电沉积法对CNT进行过渡金属元素Ni的掺杂,并以金属有机骨架(Metal Organic Framework,MOF)为媒介对CNT进行过渡金属元素Co的掺杂。将CNT放入硝酸和硫酸的混酸溶液中,以在其表面引入亲水基团,使其易于实现与过渡金属元素的掺杂。对CNT掺Ni是将CNT进行一步敏化活化,引入Pd催化种子,随后将CNT超声分散于去离子水中并逐滴滴至配制好的以六水合氯化镍为主盐、二甲胺硼烷为还原剂的无电沉积液中,最终得到掺镍CNT样品。对CNT掺Co是将混酸处理后的CNT超声分散于去离子水中,并逐滴滴至配制好的以六水合硝酸钴、六水合硝酸锌为主盐、2-甲基咪唑为有机配体的MOF母体溶液中,得到MOF@CNT样品,再经氩气氛围下800°C高温热解5 h,最终获得掺钴CNT。将掺杂前后的CNT样品采用介电电泳法分别组装到相同规格的金电极上,实时测量其接触电阻。研究结果表明,混酸氧化处理可在CNT表面构造缺陷并引入亲水基团。无电沉积法可成功对CNT实现Ni的掺杂,且以MOF为媒介对CNT成功引入了Co,两种元素的掺杂类型均为P型。掺镍和掺钴CNT样品与金电极间的接触电阻较原样CNT分别降低了71.63%和66.67%。可见,通过掺杂方法引入电荷载流子及选择合适的与电极材料兼容的掺杂元素,有望显著改善CNT与电极材料之间的电接触性能。图41幅；表9个；参92篇。