近年来在微位移驱动和测量中随着压电驱动器的广泛应用，压电驱动电源越来越受到重视。在确定压电驱动器后，驱动系统的位移精度和分辨率主要取决于压电驱动电源。高性能、低功耗、体积小、重量轻、模块化、满足不同应用目的和应用场合的压电驱动电源，成为压电驱动电源的重点研究和发展的方向。 论文首先介绍了在能动光学关键器件-能动薄主镜的驱动中，压电驱动电源的作用。在此基础上，分析了37单元能动薄主镜驱动电源的功能要求，给出了系统的总体设计框架，以及各个功能模块采用的技术路线，然后对此电源进行了详细的理论设计和电路实现。研制出此体积小、功耗低、重量轻、低压直流供电环境下的37单元能动薄主镜驱动电源。 由于一次供电为27V低压直流，而驱动电源需要±500V、±12V等四组电压，所以必须采用直流-直流(DC-DC)开关变换器实现电压变换。考虑到供电功率小，采用单端反激式变换器设计实现。由于升压比高，副边分布电容大，引起开关管上开关功耗增大，所以在单断反激式变换器中采用ZVZCS(Zero-Voltage-Zero-CurrentSwitched)软开关技术，设计了新颖结构的谐振电路，实现了主开关管的零电压开关，大大减小了主开关管的开关损耗，进而达到提高变换器效率的目的。 同时，在每路高压放大器设计中，均采用光电耦合器隔离驱动来控制NMOS管实现信号的AB类放大，并实现对压电驱动器的微小电流驱动，有效降低了整机功耗。 最后，研制出此37单元能动薄主镜驱动电源，对电源的各项性能指标做了测试，同时在能动薄主镜上进行驱动校正实验，给出了通过驱动电源驱动后，能动薄主镜镜面面形的校正结果。