高密度柔性基板几何尺寸测量与边缘缺陷检测研究

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高密度柔性电路基板(Flexible Integrated Circuit Substrate,FICS)又称柔性基板,是便携式电子设备的核心组件之一。因柔性基板广泛应用于电子设备,且其质量好坏直接影响产品性能,故基板质量检测非常重要。目前国内柔性基板缺陷检测还主要依靠人工目视检测来完成,随着电子产品更加智能轻薄化,柔性基板也逐渐向小型化方向发展,其线宽,钻孔直径等参数的尺寸已达到微米级别,低效的人工检测方式已无法满足工业生产的检测需求,采用机器取代人力成为未来趋势。为此,本文依托实验室现有自动光学视觉检测设备,对柔性基板的轮廓提取、直线曲线检测、几何尺寸测量等问题进行了深入研究,主要工作如下:(1)针对柔性基板纹理丰富,边缘模糊等特点,提出了一种基于引导滤波的图像预处理方法。该方法首先对待处理的柔性基板图像进行有规律的迭代引导滤波,旨在保边去噪,抑制纹理,接着采用Canny轮廓检测算子对滤波后的图像进行边缘检测,实验结果表明该算法能有效提取高质量的柔性基板轮廓,但计算较为耗时。(2)考虑到工业领域对柔性基板检测效率的要求,提出了一种基于neighborhood valley-emphasis(NVE)的二次搜索阈值分割方法。该方法根据柔性基板的灰度直方图特性,进行两次搜索寻找目标区域和背景区域灰度范围,进而确定阈值候选区域,然后在候选区域内采用NVE算法,确定最终的阈值。该方法可以快速准确地分割柔性基板铜箔区域和背景区域,并能够高效提取轮廓,其轮廓品质因数可达0.97。(3)设计了一套基于轮廓的柔性基板几何尺寸测量和边缘缺陷检测流程。该流程首先对柔性基板图像进行轮廓提取,然后采用提出的分段多点拟合法对轮廓中的直线曲线进行检测,通过拟合直线集合和相机局部标定方法计算各线路的平均线宽,最后根据检测轮廓和对应的拟合直线集计算最值线宽并检测线路中的边缘缺陷。其中分段多点拟合法是对基板线路轮廓进行快速拟合,相机局部标定法是将给定像素坐标准确转换为世界坐标,实验表明本文所提分段多点拟合法和相机局部标定法精度高、稳定性好,基于它们的线路边缘缺陷检测精度可达93.79%。
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