针对超高精度定位平台在直线平面电机驱动的过程中,更容易受到系统参数扰动、负载扰动等外界的不确定因素等问题进行分析,为了满足高精度定位平台定位精准响应快的要求,研究并提出一种控制器,其具有高精度定位,快速度响应,抗扰能力强的优点。使用二阶滑模超螺旋算法对永磁同步平面电机进行控制,超螺旋控制器和干扰观测器相互补偿,使直线平面电机对定位平台进行高精度控制的过程中,完成速度更快,精确度更高,多自由度控制。选用永磁同步平面电机作为研究对象,分析其工作原理以及电机结构。对永磁同步直线电机数学模型进行分析,使用坐标变换获得电机动子输入的指令位置与各电机输入位置的关系;对其受力分析得到永磁同步直线电机方程;并在理想假设条件下,对永磁同步平面电机进行动力学分析。提出一种平面电机控制方法:超螺旋滑模控制。因为在一阶滑模控制算法中出现了开关函数,导致电流的波形有比较大的抖振现象,从抑制抖振这方面引出了二阶滑模变结构控制,采用其中最简单的超螺旋算法,可以从原理上消除抖振现象。使用MATLAB软件中的simulink模块对超螺旋滑模控制平面电机的过程进行模型搭建,并完成仿真,从仿真结果可以得出,超螺旋算法相比于一阶滑模算法的电流波形更为平稳,可以有效的抑制抖振。从永磁同步直线电动机入手,再根据永磁同步平面电动机的结构特点,提出了一种超螺旋滑模控制器与干扰观测器补偿的控制策略。以基础的干扰观测器为原型,设计出超螺旋滑模干扰观测器。干扰观测器和超螺旋控制器是互相补偿的,能有效的提高系统性能。对电机进行跟踪定位仿真、突加负载的仿真,同时还对单一自由度以及三个自由度完成系统定位的过程进行了仿真,根据仿真的结果,证明使用的控制平面电机的方法能够达到平面电机定位系统高精度快响应的要求,当然也具有良好的可靠性与稳定性。