政府补贴是引导产业健康发展,促进就业增长与经济发展的常用政策工具。在我国孵化产业发展不完善,抚育能力与服务质量较低的情况下,孵化补贴对促进孵化产业转型,提高孵化效率与产业竞争力具有重要的作用。以广东省为例,2019年广东省孵化补贴覆盖率达到全省孵化器总数的41.89%,平均补贴额度为233.69万元,占受补贴孵化器收入均值的28.32%。在经济发展转型期,政府补贴将成为扶持孵化产业发展的重要力量,因此我国孵化补贴是否实质地促进了孵化服务的提升以及孵化产出成为备受关注的问题。论文以广东省孵化器为样本,从孵化器价值链角度将孵化过程划分为孵化服务、孵化产出两个阶段,并基于共享投入的网络DEA-RAM方法对孵化绩效（孵化综合效率、孵化服务效率、孵化产出效率）进行测度,随后采用倾向得分匹配方法针对孵化补贴对孵化绩效的影响进行实证分析,最后采用三阶段联立方程组方法分析其影响机制。通过实证分析,本文主要得到以下结论:（1）广东省孵化器综合效率均值大于0.90,效率值较高;分阶段来看,孵化产出效率比孵化服务效率高;从趋势来看,孵化综合效率以及孵化产出效率整体呈现出“倒U”型的趋势,而孵化服务效率呈现出升降起伏的波波浪形势。（2）孵化补贴对孵化综合效率、孵化服务效率以及孵化产出效率均具有负面影响,并且在1%的水平上通过了显著性检验;从分样本来看,孵化补贴对政府主导型孵化器的孵化综合效率以及孵化产出效率抑制效应更强。（3）孵化补贴对行政管理、创业指导、投融资、以及技术平台服务都具有显著的促进效应;但是除了投融资服务对孵化综合效率、孵化服务效率具有促进作用之外,行政管理、创业指导以及技术平台服务对孵化绩效均具有显著的负面影响。我国孵化政策应当区分孵化阶段,淡化普惠性质,优化补贴机制以促进孵化绩效提升,以市场化为导向促进孵化器转型。