当人们探索紫外光源在紫外光刻机、紫外消毒、紫外养生等方面的应用时，对紫外光的探测必不可缺。目前市场上销售的紫外探测器性能优缺点各异，缺乏良好的性能提升。碳化硅（SiC）作为第三代半导体，除了具有大的禁带宽度，良好的耐高温、耐高压、耐腐蚀特性外，对于紫外光的敏感性，以及相对成熟的高阻SiC外延制备技术，使得SiC成为制造紫外探测器不可多得的材料。目前的SiC紫外探测器中，以金属-半导体-金属型（MSM）居多，然而SiC MSM型探测器低的探测性能成为制约其进一步发展的羁绊。　　本论文中，首先利用半导体器件制备工艺建立了SiC MSM型紫外探测器的制备流程，细化了工艺细节，研制出SiC MSM型紫外探测器；然后在SiC MSM型紫外探测器表面制备了纳米银（Ag）和纳米铝（Al）金属颗粒，研制出纳米金属颗粒增强的SiC MSM型探测器；最后测试并研究了纳米金属颗粒的增强效果。　　研究结果表明，与SiC MSM型紫外探测器相比，纳米Ag颗粒增强的SiC MSM型紫外探测器，在偏压5 V时，使用汞灯和氘灯照射，灵敏度分别提高了14.4倍和6.5倍，在380 nm波长下，响应度提高了3.87倍。对于纳米Al颗粒增强的SiC MSM型紫外探测器，在偏压5 V时，使用汞灯和氘灯照射，灵敏度分别提高了28.6倍和36.8倍。220 nm波长下的响应度为0.165 A/W，是SiC MSM型探测器的3.93倍。由于纳米金属颗粒的附着，减少了探测器表面的漏电通道，降低了探测器的暗电流。利用局域表面等离子体共振（LSPR）原理，对纳米金属颗粒增强探测器的性能进行了分析。