随着绿色发展理念的贯彻落实,绿水青山就是金山银山的观点已深入人心。“十四五规划”中强调,我国要深入实施智能制造和绿色制造工程,发展服务型制造新模式,推动制造业高端化、智能化和绿色化。考虑资源环境约束下的绿色全要素生产率成为评价我国经济增长质量的核心指标,是转变我国经济发展方式的主要驱动力,着力提升绿色全要素生产率是实现我国绿色经济转型升级和制造业行业可持续发展的根本途径。税收优惠政策作为国家重大改革举措和宏观调控的先手棋,是统筹当前和中长期发展目标的必然选择。因此,深入研究税收优惠对制造业绿色全要素生产率的作用能进一步完善我国的税收优惠政策,充分发挥对制造业绿色全要素生产率增长的积极效应。本文紧扣税收优惠与制造业绿色全要素生产率的研究主题,梳理总结了国内外相关研究文献和理论基础,界定了税收优惠和绿色全要素生产率的概念,通过各部门出台的文件和条例梳理出了制造业行业在所得税类、流转税类以及其他税种的税收优惠政策,运用考虑非期望产出的兼容径向和非径向特点的SBM模型并结合GML指数,测算出了我国制造业31个细化行业的绿色全要素生产率指数,并对其展开现状分析。然后,研究税收优惠政策对制造业绿色全要素生产率的影响机理并提出相应的研究假设,基于省级地区的面板数据,实证检验了税收优惠对绿色全要素生产率以及它的分解项的直接效应和影响路径,将研发投入以及就业结构作为中介变量进行中介效应检验,实证结果发现税收优惠政策发挥的促进作用较为微弱,这可能与税收优惠政策自身的不足有所关联。于是根据前文政策梳理以及实证结果,提出制造业税收优惠政策存在间接优惠政策较少、适用对象缺少行业内部针对性、对研发创新和人才引进优惠力度不足等问题。最后,基于上述的问题,为促进我国制造业绿色全要素生产率的增长和实施更加有效的税收优惠政策提出了相应的政策建议。