微透镜阵列镍模芯微电铸工艺及表面质量研究

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聚合物微透镜阵列在光学连接、探测器阵列、平板显示器、投影仪、扫描仪、数码相机等方面已取得广泛的应用。微注射成型技术以低成本高效率、高自动化程度等优势成为聚合物微透镜阵列的主要制造方法之一。高质量模芯是优质微透镜阵列微注射成型的先决条件。本文采用微电铸技术制作镍模芯,以内应力和表面粗糙度作为指标,研究矩形脉冲电源参数(频率、占空比和平均电流密度)对内应力和表面粗糙度的影响,获得矩形脉冲电源最佳参数组合,参数影响次序和参数影响规律。分析脉冲电铸工作原理,脉冲电铸过程中金属离子能够及时传输至阴极,
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