本文对扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope，STM)的基本理论、系统构成，STM探针制备方法和STM探针形貌对扫描图像质量的影响等作了较为全面的评述，指出了一些尚待探讨的问题。对其中STM探针的较佳制备条件、STM探针的形状和曲率半径与STM图像质量之间的关系等具体问题进行了研究并得到了一些新的结果。 通过直流电化学腐蚀法和交流电化学腐蚀法两种方法，在不同的实验条件下，用直径0.32mm的钨丝制作出了多种类型的尖端。利用扫描电子显微镜对这些尖端的形貌进行了研究，结果表明尖端大致有三种形状，在合适的条件下能够容易地制成形状为旋转双曲面而曲率半径小于1μm的实用STM探针。 利用所制备的钨针尖在平面性和取向性较好的有序高定向石墨(HOPG)上多次重复扫描，分别得出了其原子结构的透视与俯视形貌图，将这些图像与针尖的形貌进行比较研究后得知：STM探针尖端曲率半径对STM图像分辨率影响较大，而探针形状对图像的噪音和稳定性有一定的影响。另外，探针尖端曲率半径在小于1μm时便可以得到分辨率较高的STM图像。