【摘 要】
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金刚石薄膜半导体因其优良性能而受到广泛的重视.为了使金刚石薄膜和Au/Ti薄膜形成的半导体器件得到进一步改善,必须对金刚石薄膜的金属化过程和使用条件下器件结构的演变具
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金刚石薄膜半导体因其优良性能而受到广泛的重视.为了使金刚石薄膜和Au/Ti薄膜形成的半导体器件得到进一步改善,必须对金刚石薄膜的金属化过程和使用条件下器件结构的演变具有透彻的了解.故该文采用CALPHAD技术,运用Thermo-Calc软件包重新优化和计算了Au-Ti二元系,并且首次优化和计算了Au-C二元系和Au-Ti-C三元系.
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