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随着空间光学的快速发展，为满足空间反射镜高分辨率的要求，反射镜的口径不断的增大，这也就要求制造空间反射镜的材料需要在满足光学性能和机械性能的基础上要尽可能的减轻重量。SiC作为一种新型的空间反射镜材料，在近年来得到了飞速的发展。相对于世界先进水平，我国的SiC反射镜加工尚处于起步阶段，由于加工经验不足，在实际加工中会遇到许多问题。本文针对PVD改性RB-SiC反射镜精抛光阶段出现的表面缺陷的形成机理和处理方法进行了相应的理论分析和工艺实验。本文介绍了现阶段国内外SiC反射镜的加工近况，结合本