【摘 要】
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该文在总结前人工作的基础上,将尺寸效应推广到微传感 领域,在此基础上选定了比较有利的测量方案,并在仿真的基础上设计出了结构简单、易于加工的阀片式微流量传感器.传感器
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该文在总结前人工作的基础上,将尺寸效应推广到微传感 领域,在此基础上选定了比较有利的测量方案,并在仿真的基础上设计出了结构简单、易于加工的阀片式微流量传感器.传感器通过测量阀片将流量转换为梁表面弯曲应力,再同集成在阀片上的压敏电阻桥检测出流量信号.传感器芯片采用半导体加工工艺,直接经体硅腐蚀和深层反应变子刻蚀在单晶硅衬底上加工出阀片和压敏电阻桥,对加工材料和加工设备都没有任何特殊要求,比较适合于国内的加工现状.
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