【摘 要】
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随着科学技术的发展,在纳米科学技术、机器人技术、空间科学技术等诸多领域迫切需要高速高精度的精密定位技术和快速有效的振动主动控制技术.压电陶瓷由于其体积小、分辨率高
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随着科学技术的发展,在纳米科学技术、机器人技术、空间科学技术等诸多领域迫切需要高速高精度的精密定位技术和快速有效的振动主动控制技术.压电陶瓷由于其体积小、分辨率高、频响高、输出力大、换能效率高、低功耗、不发热等优点,即是性能良好的精密位移驱动器,又是理想的主动抑动器,所以其在精密定位技术和振动主动控制中技术得到了广泛的研究和应用.但由于压电陶瓷复杂的机理,它存在着迟滞、位移非线性和蠕变三个固有压电误差,给压电陶瓷的控制带来了困难.该文在校基金的资助下,在广泛分析国内外精密定位技术和主动抑振技术发展状况基础上,对压电陶瓷的控制方法进行了研究.设计出一套压电陶瓷闭环控制实验系统,该实验系统由压电陶瓷驱动直接工作台,压电陶瓷驱动电源、和由微机、接口电路、传感器等构成的控制系统组成.为进一步研究压电陶瓷的控制方法奠定了物质基础.
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