【摘 要】
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该文研究的目的是寻求恰当的实验方案,监控激光等离子体光源输出强度,以减小在软X射线显微术、软X射线投影光刻和软X射线波段元件的测量中由于光源的不稳定性带来的 误差.该
【出 处】
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长春光学精密机械学院 长春理工大学
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该文研究的目的是寻求恰当的实验方案,监控激光等离子体光源输出强度,以减小在软X射线显微术、软X射线投影光刻和软X射线波段元件的测量中由于光源的不稳定性带来的 误差.该文在全面分析国外类似装置的前提下,提出自己的方案,完成了实验方案的总体设计;并对系统中重要光学元件--多层膜的设计、制作及检测进行了必要的研究;还设计了软X射线探测器及共信号接收与处理系统,完成了整个系统的实验,解决了实验中碰得的问题,得出了实验结果.对实验结果的分析和对比说明作者研制的系统是成功的,基本上满足对 软X射线光源强度监控的需要.
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