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飞秒脉冲的超强超快特性使它在微加工领域有独特的优势。在与石英玻璃的相互作用中,它很强的局域特性使它更适合于微小尺度的加工,但是飞秒脉冲微加工的尺寸限制于聚焦物镜的数值孔径。由于物镜的数值孔径有它的上限,而且大数值孔径下的纵向加工尺寸也会大大缩短,所以寻找在同一聚焦条件下可以得到更小加工尺寸的方法是很有意义的。
本文阐述了横向模式对飞秒脉冲峰值等离子体密度峰值和等离子体区尺寸的影响,讨论了TEM00和TEM10两种模式的区别,对于不同的聚焦条件横向模式的影响是一致的:即相比TEM00模式,TEM10模式可以产生更高的等离子体密度峰值和更小的横向等离子体区尺寸。通过数值模拟,表明可以通过TEM00和TEM10两种模式的组合来实现缩小加工尺寸和改善纵横比的目的,调节的效果取决于两种不同模式的能量比利和位相差。对于一个确定脉宽的飞秒脉冲,通过调节两种不同模式的能量比利和位相差可以大幅缩小等离子体区的尺寸,并且可以改善纵横比。