近年来,随着世界各国能源的日益短缺、资源贫化、环境污染加剧,使环境保护问题日益突出。采用过滤技术用于环境保护领域,可达到保护环境、节省能源、有效利用资源等目的。过滤板是过滤分离技术操作单元中常用的过滤介质。根据企业的过滤环境不同,对过滤介质的材料有不同的要求。本文以新疆某化工企业在乙二醇生产过程中使用的微过滤板为研究对象,对特定工况环境和生产产品过滤要求进行研究分析得知,该企业过滤操作单元要求过滤材料能承受0.5Mpa压强、120℃的温度,同时还需要具有一定的耐腐蚀性。研究表明石英玻璃具有较强的机械性能与耐高温能力且物理与化学性能稳定,所以其能够满足使用要求,因此将其作为滤板材料。微孔作为微过滤板的主体要素,在精密制造中,加工方法多种多样,但由于其加工尺寸小,往往在大量孔阵列加工中存在效率不足的问题,而激光加工以其高效、高质量优势,广泛应用于微孔的加工制造领域。本文对微过滤板的结构进行设计,选择满足工作强度要求的关键几何参数组合。为达到微过滤板的孔径、精度和质量等方面要求,研究飞秒激光烧蚀微过滤板的加工工艺。主要完成的工作如下:（1）开展微过滤板结构几何参数设计与研究。分析生产环节,了解产品需求,确定微孔直径大小,通过力学计算分析,确定滤板厚度。其次,对微过滤板结构进行设计,并以微过滤板为研究对象,采用数值仿真分析滤板流阻特性,得到几何参数对滤板孔口流速与压力损失的影响规律。最后,利用静应力分析方法对过滤板结构合理性进行验证,结合加工效率与过滤效果等因素最终确定过滤板的最优结构参数组合。（2）进行飞秒激光微孔加工工艺的研究。搭建飞秒激光烧蚀加工系统,并编写控制激光加工试验平台的控制软件,采用推算法计算了石英玻璃材料的烧蚀阈值,最后,通过飞秒激光直接烧蚀加工试验,分析了不同激光工艺参数组合下（激光功率、离焦量、脉冲个数）烧蚀微孔的直径大小和形貌变化规律。（3）进行化学刻蚀辅助飞秒激光加工工艺的研究。首先探讨了化学刻蚀辅助加工深孔的机理,其次探讨化学刻蚀阶段,刻蚀时间对于孔径的影响规律。最后,综合激光参数与化学参数进行工艺优化试验,得到加工微过滤板的最优工艺。优化试验的结果显示在激光功率为55m W时,以扫描速度为100μm/s使用由下向上拉伸的方式对石英玻璃进行飞秒激光烧蚀加工后,将其放置在质量浓度为20%的氢氟酸溶液中刻蚀5小时的加工工艺可得到目标微孔。