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通过使用螯合剂、氧化剂和缓蚀剂及氢氧化钠的不同组合，改变退除液浓度、退膜温度、退除液PH值退除利用多弧离子镀技术在不锈钢或高速钢基体镀覆的多组元氮化物硬质膜，主要包括退除(Ti，Al)N膜、(Ti，Zr)N膜和(Ti，Al，Zr)N膜，利用扫描电镜(SEM)、电子能谱仪(EDS)和粗糙度仪测量和检测了退膜前后和未镀膜的表面形貌、成分和粗糙度，研究了退除液组元的不同组合、退除液的不同浓度、不同退膜时间及退除液的不同PH值下的三种膜层随时间的变化，采用扫描电镜对表面形貌随反应时间的变化进行观察和评价。 利用多弧离子镀技术，使用Ti-Al(原子百分比50:50)合金靶，Ti-Zr(原子百分比50:50)合金靶及Ti-Al(原子百分比50:50)合金靶与Zr单质靶组合，在不锈钢基体上分别制备了(Ti，Al)N膜和(Ti，Zr)N膜，在高速钢基体上制备了(Ti，Al，Zr)N膜。作为氮化物硬质膜中具有一定代表性的硬质膜，这些膜层在刀具、模具等行业应用广泛，因此本实验以此三种膜层的退除为目标。 针对(Ti，Al)N膜和(Ti，Zr)N膜，进行退除液和退除工艺试验研究，均具有以下三种情况：(1)采用螯合剂与氢氧化钠组合配制的退除液以及氧化剂与氢氧化钠组合配制的退除液进行退膜试验，无论退除液浓度、退膜温度、退除液PH值怎样改变，膜层均不能退除，浸泡过的膜层的表面形貌、成分、粗糙度都和镀膜未退的膜层的表面形貌、成分、粗糙度一致；(2)采用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂和氢氧化钠组合配制退除液，在最佳浓度、较高PH值、高温(高于45℃)环境下，膜层被完全退除，但是，基体表面被严重腐蚀，清洗后露出基体的表面成分与未镀膜的基体表面成分相同，露出基体的表面粗糙度小于镀膜未退的膜层表面粗糙度，大于未镀膜的基体表面粗糙度；(3)采用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂和氢氧化钠组合配制退除液，在最佳浓度、最佳PH值、最佳退膜温度环境下，膜层被完全退除；一定时间内退膜后露出基体的表面均没有被腐蚀，露出基体的表面形貌、成分、粗糙度都与未镀膜的基体表面形貌、成分、粗糙度相同。 针对(Ti，Al，Zr)N膜，(1)采用螯合剂与氢氧化钠组合配制的退除液以及氧化剂与氢氧化钠组合配制的退除液，进行退除膜层试验，无论退除液浓度、退膜温度、退除液PH值怎样改变，膜层均不能退除；浸泡过的膜层的表面形貌、成分、粗糙度都和镀膜未退的膜层的表面形貌、成分、粗糙度一致。(2)分别采用(Ti，Al)N膜、(Ti，Zr)N膜的最佳退除液和最佳退除工艺，以及它们的改良退除液进行退除(Ti，Al，Zr)N膜试验，膜层被完全退除；一定时间内退膜后露出基体的表面均没有被腐蚀，露出基体的表面形貌、成分、粗糙度都与未镀膜的基体表面形貌、成分、粗糙度相同。 本试验研究结果表明，采用螯合剂、氧化剂、缓蚀剂和氢氧化钠的最佳组合配制的退除液在最佳工艺下，分别实现了不锈钢和高速钢基体上利用多弧离子镀技术镀覆的三种膜层的完全退除；退膜后露出基体的表面光亮，无损伤，在短时间内没有被腐蚀，达到退膜的目的。