高真空磁控溅射镀膜机的温度控制在镀膜过程中起着十分重要的作用,温度控制的好坏直接影响到成膜质量。本文研究了专家PID算法的原理和实现方法,并将其应用到温度控制系统中;就常规PID算法和专家PID算法在温度控制上的应用开展了仿真比较;设计和实现了基于专家PID算法的高真空磁控溅射镀膜机温度控制系统,该系统主要由专家PID智能温控仪、晶闸管反并联模块、晶闸管控制电路、热电偶等组成;讨论了温度控制系统及其各单元的结构、工作原理和特性;温度控制试验结果表明,自行设计的温度控制系统的温升曲线能很好地与专家PID算法仿真曲线相吻合,完全满足镀膜机温度控制的要求,可以投入使用。为满足不同应用需要,文中还设计了由智能温控仪直接触发交流固态继电器以调压进而改变加热功率的温控系统,简要说明了其工作原理。