基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪的结构设计研究

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硅微机械陀螺仪具有体积小、质量轻、成本低等特点,因而具有广泛的应用前景。在硅微机械陀螺仪的研究中,陀螺仪灵敏度和分辨率的提高始终是人们追求的主要目标。本论文针对一种新型的基于非谐振原理的硅微机械陀螺仪进行研究,主要研究内容包括以下几个方面:1)介绍了传统硅微机械陀螺仪的基本工作原理,并对陀螺仪中的空气阻尼问题进行了分析,最后指出了传统硅微机械陀螺仪存在的问题:①频率的跳动对陀螺仪的性能影响较大。当驱动模态频率和检测模态频率之间有10%的误差时,陀螺仪的灵敏度下降为原来的5.3
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