【摘 要】
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该论文制备出了一系列的SrBaNbO(SBN)铁电电光薄膜材料;并用椭偏光谱、透射光谱法等光学检测方法对其进行了分析研究,得到了一些有意义的结果.该论文的主要内容如下:1.用Sol-
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该论文制备出了一系列的Sr<,x>Ba<,1-x>Nb<,2>O<,6>(SBN)铁电电光薄膜材料;并用椭偏光谱、透射光谱法等光学检测方法对其进行了分析研究,得到了一些有意义的结果.该论文的主要内容如下:1.用Sol-Gel法生长、制备出了一系列不同退火温度的SBN铁电电光薄膜,用椭偏光谱法对其进行了测量,得到了一系列不同退火温度的SBN薄膜椭偏参数谱,并对所测的椭偏光谱进行了数值反演计算和分析研究,首次得到了SBN铁电电光薄膜的光学常数与退火温度之间的关系.2.对由脉冲激光沉积(PLD)法制备的外延SBN铁电电光薄膜进行了透射光谱测量、分析和研究,得到了外延SBN铁电电光薄膜的光学常数.3.对超薄(膜厚几个或几十nm)类金刚石薄膜进行了椭偏光谱法测量分析和研究,得到了超薄类金刚石薄膜的厚度.4.椭偏光谱解谱及数值反演方法一直是椭偏光谱研究的一个重要课题,该文最后尝试把遗传算法(GA)这种新方法应用到椭偏光谱解谱及数值反演中,以达到优化计算和快速解谱的目的,并把遗传算法与传统的多维空间非线性最小二乘法所得到的结果进行了比较,这无疑是对椭偏光谱解谱及数值反演方法的一次有意义的探索和研究.
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