【摘 要】
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近年来，随着多层膜技术的深入发展，多层膜反射镜已在软X射线天文望远镜，软X射线显微术，X射线投影光刻，同步辐射，等离子体诊断等许多领域内成功的获得了应用。但这些多层膜基本上工作在极紫外和软X射线波段。随着科学技术发展的需要，人们迫切需要在硬X射线波段建立相应的光学元件，拓展X射线光学元件的应用范围。有鉴与此，我们在国内率先展开了硬X射线波段光学元件——X射线超反射镜的研究。 本文从材料在硬X
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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近年来，随着多层膜技术的深入发展，多层膜反射镜已在软X射线天文望远镜，软X射线显微术，X射线投影光刻，同步辐射，等离子体诊断等许多领域内成功的获得了应用。但这些多层膜基本上工作在极紫外和软X射线波段。随着科学技术发展的需要，人们迫切需要在硬X射线波段建立相应的光学元件，拓展X射线光学元件的应用范围。有鉴与此，我们在国内率先展开了硬X射线波段光学元件——X射线超反射镜的研究。 本文从材料在硬X射线波段的光学特性出发，讨论了X射线超反射镜的设计方法：X射线多层膜的材料选择以及
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