数字经济时代,以5G、大数据、人工智能为代表的数字技术广泛渗透到千行百业,工业数字化成为我国建设制造强国的重要支撑。工业数字化作为技术创新与制度创新协同驱动的一种新经济形态,正在蓬勃发展。不过,工业数字化融合快速增长的背后,其发展也面临两大挑战:一是,创新能力不强、核心技术受制于人;二是,工业数字化发展质量不高、融合层次不深。这些问题制约着工业数字化迈向更高阶段,且不利于数字经济高质量发展。为适应数字化时代的挑战,工业企业不断通过数字化投入来适应市场竞争,政府通过持续制度创新支撑工业企业数字技术创新的融合应用,工业数字化取得显著成效。由此,如何更好地用创新驱动工业数字化高质量发展?技术创新与制度创新如何协同驱动工业数字化?工业数字化增长的组态路径有哪些,以及怎样演变?成为学界迫切需要研究的重要现实问题。基于中国省级区域2016年-2020年间的面板数据,运用熵值法测量研究变量,使用R语言、fs QCA3.0软件,综合必要条件分析方法和动态定性比较分析方法进行实证分析。结果显示:（1）工业数字化的初步融合阶段,有4条组态路径促进其高水平增长;工业数字化的推进融合阶段,有2条组态路径促进其高水平增长,市场化构成其必要条件。此外,多条等效组态路径的条件间存在协同关系,这表明突破瓶颈水平需形成合力。（2）两个阶段组态路径间,既存在核心条件的主导轨迹,也存在转折轨迹;同时,条件间轨迹存在相互作用和共同演化。基于创新驱动视角,运用动态定性比较分析方法研究技术创新、制度创新与工业数字化不同阶段的复杂因果关系及演进轨迹,拓展了工业数字化驱动机制及演变过程的研究。研究结论有助于揭示技术创新要素与制度创新要素之间,协同互动或潜在替代的关系,厘清影响不同阶段工业数字化高水平增长的瓶颈和复杂机理。为创新驱动工业数字化进入更高阶段提供重要的实践启示。