高反镜是激光陀螺的核心部件之一,高反镜的表面疵病对激光陀螺输出的线性度和稳定度产生巨大的影响,因此,在高反镜研制生产过程中,表面疵病的检测至为关键。本文基于光散射理论,研究了应用于激光陀螺的高反镜表面不同类型和尺寸的疵病的激光散射场分布特性和强度大小,搭建积分散射测量系统对已知类型和尺寸的疵病进行检测验证。研究内容包括以下几个方面:研究了高反镜表面疵病的类型、成因及光散射检测机理,分析了激光散射光场的影响因素以及散射场强度的计算表征方法。基于电磁场的数值计算方法—有限元法(FEM),利用COMSOL多物理场数值仿真软件设计了含有多种类型疵病的高反镜模型并进行仿真计算,模拟了疵病产生散射光的过程,分析了高反镜表面多种类型不同尺寸的疵病对激光散射场分布和强度大小的影响。基于相关检测原理和Lab VIEW数据采集处理程序,以积分球为核心,结合锁相放大器和光电倍增管搭建了积分散射测量系统,实现了在复杂噪声背景下对微弱散射光信号的采集和处理。采用此系统对高反镜样品表面矩形截面已知尺寸的划痕疵病进行检测,并通过计算获得了高反镜样品表面疵病散射率随尺寸变化的趋势,并与仿真计算结果进行比对,二者所得结论基本一致。通过仿真计算分析和实验测量研究,揭示了高反镜表面不同类型和尺寸的疵病对激光散射场分布和强度大小的影响规律。