制造业作为国民经济发展的支柱产业，是立国之本、兴国之器、强国之基，对我国发展举足轻重。高技术产业作为制造业至关重要的组成部分，近年来在制造业中所占比重越来越大。同时随着我国经济的发展，传统经济红利日益消退，我国可以通过制造创新红利来促进经济可持续发展，而高技术产业对新的创新红利的形成有着无可比拟的推动作用。世界上多个国家也越来越重视高技术产业的发展，我国政府也相应出台了《中国制造2025》规划，重视高技术产业的发展，提升高技术产业效率是我国不可或缺的发展战略。
　　现有的关于高技术产业效率的研究文献多采用数据包络分析方法，而运用随机前沿分析方法的研究文献相对较少。但随机前沿分析方法考虑了无效率因素导致的效率偏差，具有一定的优势。所以，本文基于随机前沿分析方法选择超越对数生产函数对2001-2016年我国大陆30个省(市、自治区)的高技术产业效率进行了测算。为全面了解高技术产业效率的变化情况及效率变化的源头，本文测算了高技术产业TFP增长率、TFP增长率的分解项——技术有效性的变化率、技术变化率、规模报酬的改善。测算结果发现，16年间我国高技术产业TFP增长率波动变化，2013-2016年较为平稳有下降趋势，技术进步是TFP增长的主要源泉。由于高技术产业内部存在区域发展不平衡的问题，本文分别测算了东中西部地区高技术产业的效率变化情况，发现中西部地区TFP增长率大于东部地区，技术进步仍是各地区TFP增长的主要源泉。
　　为促进我国高技术产业发展，提升高技术产业效率，本文探讨了全国整体及我国分区域高技术产业效率变化的影响因素。本文研究了R&D资金投入、R&D人才投入、企业成长能力、企业规模、对外贸易程度、固定资产投资率、金融发展程度、政府支持力度对高技术产业效率变化的影响，发现除对外贸易程度不会影响全国整体高技术产业效率变化外，其余因素都会影响全国整体高技术产业TFP增长率或者其分解项，影响因素对高技术产业效率变化的影响存在区域差异。
　　考虑到我国高技术产业还存在行业发展不平衡的问题，本文以医药制造业、电子及通信设备制造业为例，进一步研究了高技术产业分行业间的效率变化情况。通过对2001-2016年我国25个省(市、自治区)两个行业效率变化情况的测算发现，电子及通信设备制造业处于蓬勃发展阶段，而医药制造业发展势头相对减弱。16年间电子及通信设备制造业TFP增长率平均值高于医药制造业，技术进步均是两个行业TFP增长的主要源头。通过进行两个行业效率变化的影响因素研究分析，发现八个影响因素对两个行业效率变化的影响与高技术产业整体基本一致但也存在一定的差异。
　　最后根据本文的研究结论，提出重视技术进步，重视中西部高技术产业发展，实行效率导向的资金、人才投入政策，扶植中小企业和培养产业领头企业并举等建议。