多晶硅作为信息产业最基础的原材料，随着单晶硅市场急剧扩大而引起了严重的资源匮乏问题。2004年1月19日，由洛阳中硅高科技有限公司试验成功了我国第一台12对棒多晶硅高效节能大还原炉。但是该设备需要在硅芯载体上进行多晶硅的生产。因而，大规模生产硅芯就成为急需解决的问题。 本课题在介绍硅芯炉设备工作原理的基础上，主要对硅芯炉控制系统进行研制。通过分析不同的控制要求，设计了慢速系统、快速系统和籽晶托盘控制系统，并对每个系统设计思路和工作原理进行了详细阐述。考虑到产量和材料消耗的问题，本硅芯炉设备通过增加一个籽晶托盘旋转机构，可以连续生长六根直径为七到八个毫米的晶棒，这是本课题的创新之处。 在设计过程中，通过反复的优化设计，使设备达到了较为理想的工作状态，满足了晶体生长的需要。 该硅芯炉设备已投入生产应用中，并且各项运行指标良好，特别是采用了籽晶托盘旋转机构，大大地提高了生产效率和降低了能耗，这标志着彻底打破了国外对我国多晶硅技术的封锁。为改变我国硅片生产行业多晶硅长期依赖进口的局面奠定了基础。该课题的研制同时填补了国内设备在这方面的空白，为信息科学领域中的微电子技术，以及能源与自动化领域中的电力电子技术的进一步发展添砖加瓦，作出了应有的贡献。